Учёные РФФ ТГУ при поддержке мегагранта правительства РФ разрабатывают детекторы для синхротронного центра «СКИФ» и других отечественных научных проектов уровня «мегасайенс». В рамках масштабных иследований радиофизики создали программу для контроля качества полупроводниковых пластин с помощью ИК-излучения. На новый объект интеллектуальной собственности получен патент.
Программа предназначена для формирования изображения полупроводниковых пластин в инфракрасном (ИК) излучении диапазона 900-1700 мкм путем сшивки изображений локальных областей, получаемых с помощью сканирующей ИК системы, – говорит сотрудник лаборатории детекторов синхротронного излучения ТГУ Александр Винник. – Программа позволяет проводить мониторинг дефектной структуры пластин диаметром от 50 до 150 мм с пространственным разрешением на уровне 30 мкм.
Программа может использоваться в составе автоматизированных систем контроля дефектной структуры полупроводниковых пластин. Функциональные возможности программы: при работе сканирующей оптической ИК системы программа циклически обрабатывает получаемые изображения локальных областей полупроводниковой пластины для обнаружения реперных точек, по которым проводит сшивку изображений и автоматически формирует полное растровое ИК изображение пластины диаметром от 50 до 150 мм.
Добавим, что сотрудниками лаборатории детекторов синхротронного излучения уже изготовлена первая партия образцов детекторов для СКИФа и направлена для испытаний в ИЯФ им. Г.И. Будкера СО РАН. Серия экспериментов на базе Института ядерной физики стартовала в конце 2022 года и продолжится в 2023 году.
Запуск синхротрона поможет российским учёным получать новые фундаментальные знания о строении и свойствах вещества на микро — и наноуровне, решать актуальные задачи в области биологии, медицины, химии, энергетики и многих других областях.
